Direkte Temperierung von Chemikalien mittels HED Thermo-Controller

Mit unserer Thermo-con-Serie HED lassen sich die Temperaturen von Chemikalien und hochreinen Medien direkt steuern.

Eine direkte Temperatursteuerung von Chemikalien mit dem SMC Thermo Controller gewährleistet eine Temperaturstabilität von +/- 0,1° Celsius. Jene Teile, die mit den Chemikalien in Berührung kommen, bestehen aus dem chemiebeständigen Kunststoff PFA, wodurch Verunreinigungen durch Metall-Ionen-Elution verhindert werden.

Eine kompakte Bauweise und ein geringes Gewicht sind Resultat des eigens entwickelten Wärmetauschers, den wir speziell an die Form der Peltier-Elemente angepasst haben.

Peltier-Technologie zum Kühlen und Heizen

Als Peltier-Element bezeichnet man einen elektrothermischen Wandler, der bei Stromdurchfluss eine Temperaturdifferenz oder bei Temperaturdifferenz einen Stromfluss erzeugt. Peltier-Elemente eignen sich sowohl zur Kühlung als auch zum Heizen (bei Stromrichtungsumkehr).

Die größten Vorteile von Peltier-Elementen liegen in der geringen Größe und dem geringen Gewicht, außerdem ermöglichen sie ein schnelles Umschalten und eine präzise Temperatursteuerung.

Der Peltier-Effekt beruht auf dem Kontakt von zwei Halbleitern, deren Leitungsbänder unterschiedliche Energieniveaus haben. Mit steigendem Strom sinkt die Effizienz, mit guter Zu- und Ableitung von Wärme steigt sie.

Anwendungen des HED Thermo-Controllers

Anwendungen unserer Thermo-Con-Serie HED sind vorwiegend in der Halbleiterindustrie, zum Beispiel bei Reinigungsgeräten, Beschichtungsanlagen und Nassätzanlagen. Aber auch Chemikalientanks können damit temperiert werden.

Chemische Prozesse erfordern stabile Temperaturen

Vor allem in der Halbleiterindustrie werden die Anforderungen an stabile Temperaturen bei chemischen Prozessen immer anspruchsvoller. Die stetig kleiner werdenden Strukturen erfordern höchste Reinheit und präzise Prozesse.

Auf die Wafer (dünne Siliziumscheiben, die zu Mikrochips verarbeitet werden) dürfen keine leitenden Moleküle, also Metalle, gelangen. Dazu müssen alle Medien, die zum Bearbeiten des Wafers nötig sind, in UHP (Ultra High Purity) Systemen zugeführt werden. Da selbst geringste Metallspuren in den dünnen Bahnen Kurzschlüsse verursachen, erfolgt die Herstellung dieser feinen Strukturen in Reinräumen.

Verwendbare Medien für die direkte Temperatursteuerung

Beispiele für Medien, die sich mittels SMC Thermo-con-Serie HED direkt temperieren lassen, sind:

• Reinwasser
• Fluorwasserstoffsäure
• Schwefelsäure (ausgenommen rauchende)
• Kupfersulfatlösung
• Ammoniak-Wasserstoff-Peroxid-Lösung
• Natriumhydroxid
• Ozonwasser

Der Betriebstemperaturbereich liegt bei den genannten Medien zwischen 10 und 60° Celsius.