Unsere Hochvakuum-Ventile punkten mit langer Lebensdauer und Dichtigkeit, sind extrem korrosionsbeständig und werden pneumatisch, elektromagnetisch oder manuell angetrieben. Wir führen Modelle mit Flanschgrößen von 16-160, hochvakuumtaugliche Medienventile für Drücke von 10 bar auf der Eingangsseite und 1×10-8 mbar auf der Ausgangsseite u.v.m. Hier finden Sie die wichtigsten Produkte auf einem Blick!
Die exzellente Wärmeleitfähigkeit der Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL garantieren eine gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und reduzieren die Kondensation von Gasen im Ventil auf ein Minimum. Diese Hochvakuum-Ventile enthalten keine Schwermetalle wie Nickel oder Chrom und punkten mit geringer Ausgasung.
minimale Ausgasung
Katalog Ventile mit großen Flanschen
Unsere Bestseller Ventile der Serien XLA und XLD sind auch mit Schnellverschluss als XLAQ und XLDQ verfügbar. Der macht es möglich, das Ventil ohne Werkzeug schnell und leicht zu öffnen. Damit kann das Ventil viel schneller gereinigt oder gewartet werden. Die Flansche müssen dazu nicht gelöst werden! Die Serie XL*Q ist aus einer besonderen Aluminium Legierung. Diese macht es möglich den Ventilkörper extrem gleichmäßig aufzuheizen. Das verhindert Kondensation im Ventil, die sich negativ auf das Vakuumlevel auswirkt. Die Ventile können auch mit Heizelement bestellt werden. Neben der extra leichten Wartung punktet das Ventil mit hoher Lebensdauer und hoher Beständigkeit gegen Korrosion. Lassen Sie sich von diesem Ventil überzeugen!
Partikel können ein großes Problem in Hochvakuum-Kammern sein – man sollte sie so wenig wie möglich aufwirbeln. Das schafft man, wenn der Druck in der Kammer langsam und sanft verringert wird. Darum hat SMC die Serie XLD entwickelt. Das Ventil kann in zwei Stufen geöffnet werden. Je nach gewählter Stufe wird schneller oder langsamer abgepumpt.
Die Serie XLD ist ein Teil der XL* Familie und erfüllt alle Qualitätskriterien.
Das Gehäusematerial der Serie XM (Hochvakuum-Eckventil) und XY (Hochvakuum In-Line oder Rohrventil) besteht aus Edelstahl. XM und XL haben dieselben Abmessungen und können daher beliebig getauscht werden. Die Ventile werden in Einzelanfertigung präzise gegossen, wodurch Defekte wie Gaseinschlüsse oder poröse Stellen verhindert werden.
Dieses hochvakuum-taugliche Medienventil hält je nach Produktvariation einem Betriebsdruck von maximal 10 bar (IN-Seite) und einem minimalen Betriebsdruck von 10-8 mbar (OUT-Seite) stand. Es ist korrosionsbeständig, leicht und höchst energieeffizient im Betrieb.
Anwendung:
Wird die Hochvakuumkammer zu schnell belüftet (saubere Luft/N2) entstehen Turbulenzen und auf diesem Weg gelangen unerwünschte Partikel in die Hochvakuumkammer.
Das einstellbare Hochvakuumventil XVD2 ermöglicht eine langsame, kontrollierte und damit praktisch turbulenzfreie Belüftung der Hochvakuumkammer. Dadurch ist es möglich die Anzahl Partikel in der Kammer so gering wie möglich gehalten.
Der Rechteckschieber der Serie XGT bietet hohe Qualität zum Abschotten von Loadlock-, Transfer- und Prozesskammern.
Weitere Vorteile:
Anwendung: Für die Herstellung von Halbleiter und Solarzellen
Der kolbenstangenlose Zylinder für Hochvakuumkammern wurde speziell für minimale Partikelbildung, geringe Leckage und Ausgasung entwickelt.
Der ZSE80 ist mit PNP oder NPN Ausgängen und optional auch mit analogem Spannungs- oder Stromausgang als Sensor erhältlich. Die zweifärbige Anzeige ermöglicht es, abweichende Werte auf einen Blick zu erkennen. Dieses Produkt ist in zwei Anschlussrichtungen (Rück- oder Unterseite) und mit verschiedenen Gewinden erhältlich (R, NPT, RC, G, URJ (VCR® kompatibel) TSJ (Swagelok® kompatibel). Mit PNP oder NPN Ein-/Ausgängen und einer großen Auswahl an Befestigungsoptionen. Schutzklasse: IP65
Die Filter der Serie SF sind für den Einsatz im Reinraum gemacht. Alle Teile des Filters werden im Reinraum montiert, geprüft und verpackt. Bei der Serie SF können Sie zwischen zwei Filterelementen wählen: Membran oder gesintertes Metall. Das Modell mit Membran hat eine Filtrierung von 0,01µm (99,9% Effizienz). Die Filtrierung des Metall Elements (SFB2) ist 120µm (optional: 1 – 100µm). Alle Filter werden in der Produktion getestet, bevor sie versendet werden.
Sie möchten Ihren Prozess mit einer einbaufertigen, pneumatischen Steuerlösung sicher und effektiv machen?
Wir beraten und unterstützen Sie dabei, die ideale Antriebslösung für Ihren Prozess zu finden.
Hier finden Sie weitere Informationen zu unseren
Dank unserer langjährigen Erfahrung haben wir komplette Lösung von (u. a. pneumatischer) Ansteuerung über Ventile bis zum Druckschalter.
Bei uns bekommen Sie alles aus einer Hand für jede Ihrer Anforderungen – ganz egal, wie speziell Ihre Wünsche sind.
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Service ist uns wichtig! Wir haben sämtliche Lösungen und Designs, die genau auf Ihre Wünsche und Bedürfnisse zugeschnitten sind.
Kommen Sie an Bord und genießen auch Sie das Vertrauen, das uns unsere langjährigen Kunden entgegenbringen.
So erreichen Sie uns
Viele moderne Fertigungsmethoden unserer Kunden erfordern spezielle Komponenten im Hochvakuumbereich. Zum Beispiel beim
Hochvakuumanwendungen stellen sehr hohe Ansprüche an das Material und die Konstruktion. Aus diesem Grund arbeiten unsere Ingenieure weltweit an den optimalen Lösungen für Ihre Anforderungen.
Jedes Hochvakuum-System benötigt Hochvakuum-Ventile höchster Qualität. Dank der hervorragenden thermischen Leitfähigkeit bleibt die Temperatur des gesamten Ventilkörpers konstant, Ablagerungen von Prozessgasen im Inneren der Ventile werden deutlich reduziert.
Zusätzlich bieten wir Ventilserien mit optionalem Heizelement an. Sie punkten mit minimaler Ausgasung. Dank der geringen Ausgasung kann eine Pumpe mit
geringerer Leistung verwendet werden und die Evakuierzeit (=Zeit um das gewünschte Vakuum zu erreichen) wird verkürzt. Wir bieten Hochvakuum-Ventile aus Aluminium an, die keine Schwermetalle wie z. B. Nickel und Chrom enthalten. Diese Schwermetalle können Verunreinigungnen verursachen und damit Wirtschaftlichkeit des Prozesses bei der Herstellung von z. B. bei von Mikrochips (Wafern) deutlich herabsetzen.
Unsere Ventile werden aus einer speziellen Aluminum-Legierung sowie aus Edelstahl in verschiedenen Ausführungen gefertigt – vom klassischen Eckventil über In-line Ventile, Rechteckschieber, Elektromagnetventile bis hin zum innovativen Ventil zur automatischen gleichmäßigen Belüftung. Unsere Ventile sind in unterschiedlichen Flanschgrößen und Ausführungen verfügbar.
Oft reicht nicht aus, was der reguläre Markt zu bieten hat. Deshalb entwickeln unsere Ingenieure mit Leidenschaft neue und innovative Produkte.
Zum Beispiel entwickelten sie das Schnellwechsel-Hochvakuum-Eckventil der XL * Q-Serie. Was ist das Besondere daran? Das Vakuum-Ventil muss für Wartung und Service nicht ausgebaut werden, damit ist eine Reinigung besonders schnell und wirtschaftlich. Eine weitere SMC-Entwicklung ist das kompakte zweistufige Belüftungsventil XVD2, das eine praktisch turbulenzfreie Belüftung ermöglicht.
Sie haben höhere Ziele, die weit über den üblichen Standard hinausgehen? Dann kommen Sie zu SMC – unsere Automatisierungsexperten haben immer die richtige Lösung für Sie. Profitieren Sie von unseren hochwertigen, innovativen Produkten für die effiziente Produktion in Ihrem Unternehmen.
SMC AUSTRIA GMBH
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