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Unsere neue Ventil-Serie JLV (JLV20-Z07 und JLV30-Z11) haben wir speziell für die Bearbeitung von Wafern in der Halbleiterindustrie entwickelt. Werden dabei SMC-Ventile der Serie JLV verwendet, gibt es gegenüber vergleichbaren Ventilen bedeutend weniger Abrieb und somit Partikel, die den Produktionsprozess stören und dem Wafer schaden könnten.
Herstellung von Mikrochips erfordert höchste Reinheit
Ein Wafer ist das Rohmaterial, aus dem Mikrochips für Computer entstehen, und bedeutet übersetzt so viel wie „dünne Scheibe”. Mikrochips werden immer kleiner und besser, ihre Schaltkreise sind extrem klein. Deshalb erfordert die Produktion in der Halbleiterindustrie höchste Reinheit – selbst geringste Spuren von Metallen können Kurzschlüsse verursachen.
So funktionieren partikeloptimierte JLV-Ventile
Im Herstellungsprozess von Mikrochips sorgt das On-off-Ventil dafür, den Flüssigkeitsstrom des Mediums an- bzw. auszuschalten – zum Beispiel wenn eine Chemikalie auf einen Wafer aufgetragen wird. Dabei muss besonders sauber gearbeitet werden, sodass keine Verunreinigungen (Partikel) auf den Wafer kommen, denn das könnte den Produktionsprozess stören und den Wafer beschädigen oder gar Teile des Wafers zerstören.
Ventile der Serie JLV sind mit einem sogenannten „Piston Shutter” ausgestattet. Er verringert die Schließgeschwindigkeit im letzten Drittel des Ausschaltvorgangs und reduziert damit die kinetische Energie, die auf den Ventilsitz wirkt. Weniger kinetische Energie bedeutet weniger Abrieb und somit weniger Partikel.
Da SMC-Ventile der Serie JLV besonders wenig Partikel beim An- und Ausschaltvorgang generieren, wird der Output auf Kundenseite erhöht.
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