Mikrochips sind heute aus unserem Leben nicht mehr wegzudenken – sie sind nahezu überall im Einsatz: Automobil- und Fahrzeugtechnik, Industrieautomatisierung, Robotertechnik, Energie- und Umwelttechnik, Heimelektronik, Gesundheitswesen und Agrarelektronik.

Bis jedoch aus Quarzsand zuerst Wafer und schließlich einsatzbereite Mikrochips entstehen, sind zahlreiche Arbeitsschritte notwendig. Viele der in der Halbleiterfertigung eingesetzten Medien erfordern exakte, konstante Temperaturen. Nur so kann ein optimales Prozessergebnis sichergestellt werden.

Niedrigere Fertigungskosten dank konstanter Temperaturen

Silizium-Wafer von Intel Quelle: Intel

Einer der Arbeitsschritte in der Halbleitertechnik ist die Lithografie. Dafür werden spezielle Fotolack- und Entwicklermedien in kleinen Behältern angeliefert und entweder im Grauraum oder direkt in der Maschine platziert. Sowohl Fotolack als auch Entwickler benötigen eine bestimmte Temperatur, die außerdem stabil bleibt.

Schwankende Temperaturen haben einen negativen Einfluss auf den Prozess. Ein Temperaturunterschied von 1°C hat unter anderem längere Prozess- und Nacharbeitszeiten zur Folge. Das wiederum lässt die Fertigungskosten des Wafers in die Höhe schnellen. Schafft man es hingegen, die das Medium umgebenden Temperaturen konstant zu halten, sinken die Kosten der Fertigung.

Das Schlauch-in-Schlauch-Prinzip sorgt für stabile Temperierung bis zu +/- 0,1°C von Medien

Flüssigkeiten bzw. Medien wie beispielsweise Fotolacke haben keine Chemieversorgung mit eigenständiger Temperierung. Hier ist eine Schlauch-in-Schlauch-Lösung, die für eine konstante Temperierung sorgt, sinnvoll.

Das Schlauch-in-Schlauch-Prinzip zur Mediumtemperierung funktioniert folgendermaßen:

• Ein SMC Temperiergerät pumpt ein vortemperiertes Umlaufmedium bzw. Zirkulationsmedium in einen (äußeren) Schlauch.
• In diesem äußeren Schlauch befindet sich ein hochreiner PFA-Schlauch mit geringerem Durchmesser, der das Prozessmedium enthält.
• Der unter Druck stehende Mediumbehälter fördert das Prozessmedium direkt an den Point-of-use in die Prozesskammer und mittels Stop-and-go-Prozess auf den Wafer.
• Während der Stop-Phase wird das Medium im Schlauch auf die benötigte Temperatur gebracht.

Aufgrund der Schlauchlänge und -größe bestimmen Sie, welche Menge an Prozessmedium vortemperiert werden soll und können den Set Point auf bis zu +/- 0,1°C festlegen.

Dieses Schlauch-in-Schlauch-Prinzip eignet sich sowohl zum Kühlen als auch zum Heizen.

Vorteile der SMC Schlauch-in-Schlauch-Lösung auf einen Blick

• Dank des vortemperierten Mediums ist ein kontinuierlicher Prozessbetrieb möglich.
• Sie legen anhand von Schlauchlänge und Schlauchdurchmesser fest, wieviel Prozessmedium vortemperiert werden soll.
• Temperaturgenauigkeit +/-0,1°C.

Kostenreduktion, da keine teuren und aufwendigen Nacharbeiten nötig sind.

Komplettlösung für Mediumtemperierung

Bei uns bekommen Sie eine Komplettlösung für Ihre Anwendung: Vom Temperiergerät über eine hochreine chemikalienbeständige PFA-Schlauch-in-Schlauch-Lösung bis hin zu Fittingen bzw. Verschraubungen (ebenfalls chemikalienbeständig) können wir Ihnen alles aus einer Hand anbieten.

Sie wollen mehr über unsere Schlauch-in-Schlauch-Temperierung und deren Anwendungsmöglichkeiten erfahren?
Kontaktieren Sie uns – unser Team beantwortet gerne Ihre Fragen.

In fast allen Bereichen der Industrie gibt es Armaturen und meist ist es erforderlich, sie pneumatisch zu bedienen und zu automatisieren. Die Armaturen steuern und regeln den Durchfluss von Gasen, Wasserdampf oder Flüssigkeiten in Rohrleitungen. Gegebenenfalls sperren die Ventile den Durchfluss auch ab.

Komponenten für automatisierte Industriearmaturen

Um all das automatisiert durchführen zu können, benötigen Industriearmaturen die folgenden drei Komponenten:

• Aktuator
• Druckluftversorgung
• Stellungsregler (= Positioner)

Ein Aktuator ist eine antriebstechnische Baueinheit, über die die Steuerung eines Ventils erfolgt. Das passiert, indem ein elektrisches Signal in mechanische Bewegungen umgesetzt und damit aktiv in den gesteuerten Prozess eingegriffen wird. In der Prozessautomatisierung setzt man dafür oft pneumatische oder hydraulische Antriebe ein.

Um auch große Armaturen sicher und einfach ansteuern zu können, braucht man Druckluft, und um den Druckluftzylinder zu regeln, wird ein Positioner benötigt.

Positioner sind elektrische Stellungsregler, die pneumatische Zylinder präzise in jede beliebige Stellung positionieren – sie regeln also die Druckluft zum Aktuator. Dabei ist der Positioner mechanisch oder mit einem Remote-Sensor mit dem Antrieb verbunden und wandelt das elektrische oder pneumatische Eingangssignal in ein entsprechendes Ausgangssignal um, das die Soll-Position bestimmt. Mittels Stellungsrückmeldung wird die Ist-Position ermittelt und eine eventuelle Differenz nachgeregelt.

Vollständige Lösungen und One-stop-Shop für Valve Automation

Was nach viel Aufwand in Beschaffung und Lösungsentwicklung klingt, ist in Wahrheit ganz einfach und Sie profitieren gleich in zweierlei Hinsicht:

Wir bieten Ihnen All-in-one-Lösungen für Ihre Ventilautomatisierung und entwickeln für Ihre Anwendungen individuelle Lösungen nach Ihren Wünschen und Anforderungen mit hochwertigen SMC-Produkten.

Als One-stop-Shop haben wir vom Positioner über Spezialventile bis zur kompletten Druckluftversorgung samt Zubehör wie beispielsweise One-touch-Fittinge aus Edelstahl alle benötigten Komponenten zur Verfügung.

Wo wird Valve Automation eingesetzt?

Valve Automation macht für Anwender Sinn, bei denen große Ventile / Armaturen für Gase oder Flüssigkeiten geregelt werden müssen. Dazu zählen

• chemische Industrie
• Wasserversorgung, Wasser-/Abwasseraufbereitung
• Kläranlagen
• Papierindustrie
• Heizkraftwerke

Oftmals kümmern sich Integratoren wie beispielsweise Schlosser, Installateure, Anlagenbauer, Mechaniker oder Armaturenspezialisten um den Einbau der automatisierten Industriearmaturen beim Anwender.

Beispiele unserer Lösungen für Ventilautomatisierung finden Sie auf unserem YouTube-Kanal.

Wenn Sie eine neue Anlage planen oder Probleme mit Ihren bestehenden Armaturen haben, können wir Ihnen gerne verschiedene Integratoren empfehlen und Ihre Fragen beantworten – nehmen Sie dafür einfach Kontakt mit uns auf.

Den luftgekühlten Dual Loop Chiller der Serie HRL haben wir speziell für industrielle Anwendungen mit Hochleistungslasern entwickelt, bei denen er für die konstante Temperierung des Kühlwassers sorgt. Solche Laser-Anwendungen sind Schneiden, Schweißen, Messen, Beschichten, Sintern und Stereolithografie.

Da beim Lasern Hitze entsteht, ist Kühlung ein wichtiger Bestandteil jedes Laserprozesses. Eine exakte und stabile Temperierung verlängert die Lebensdauer der empfindlichen Lasergeräte, verhindert Ausfälle und sorgt für kontinuierliche Verfügbarkeit.
Mehr zum Thema Lasertemperierung finden Sie in diesem Beitrag.

Dass der Chiller zwei Kühlkreise gleichzeitig bedienen kann, macht ihn platzsparend – der Dual Loop Chiller reduziert die benötigte Stellfläche im Vergleich zu zwei Einzelgeräten um rund 22 Prozent

Gleichzeitig spart das Temperiergerät besonders viel Energie. Mit einem Dreifach-Inverter passt es die Motordrehzahl lastabhängig an. So verbraucht der Chiller um bis zu 34 Prozent weniger Energie als Non-Inverter-Geräte.

Eine dichtungslose mechanische Eintauchpumpe sorgt zudem für Leckagefreiheit und reduziert den Wartungsaufwand.

Varianten des HRL Dual Loop Chillers

Das luftgekühlte Temperiergerät der Serie HRL ist in drei Varianten mit unterschiedlichen Kühlleistungen erhältlich: 10 kW, 20 kW und 27 kW, wobei jeweils 1 kW für den zweiten Kreis reserviert ist. Die Stabilität der Temperatur liegt bei +/- 0,1°C bzw. +/- 0,5°C.

Hohe Temperaturgenauigkeit und -stabilität

Durch die gleichzeitige Steuerung von Kompressor, Lüfter (beide frequenzgeregelt) und den elektronischen Expansionsventilen wird die Temperatur selbst bei schwankender Wärmelast stabil gehalten (Oszillator bei stabiler Last +/- 0,1°C und optisches System +/- 0,5°C).

Diese hohe Temperaturgenauigkeit sorgt aufgrund der Leistungsdichte für eine optimale Energieausbeute und macht eine ausgezeichnete Fokussierung des Lasers möglich. Die stabile Temperatur trägt zu einem geringen Verschleiß der Komponenten bei, was wiederum eine lange Lebensdauer gewährleistet.

Um die Bildung von Kondensat zu verhindern lässt es der HRL Dual Loop Chiller nicht zu, für Kanal 2 (optisches System = Laserkopf) eine niedrigere Temperatur einzustellen als für Kanal 1 (Oszillator = Laserquelle). Dadurch ist eine Fehleinstellung so gut wie ausgeschlossen.

Spart Platz und reduziert Zeitaufwand

Mit dem Dual Loop Chiller der Serie HRL sparen Sie nicht nur um bis zu 22 Prozent Stellfläche, sondern profitieren außerdem vom reduzierten Verkabelungsaufwand: Sie benötigen lediglich eine Spannungsversorgung für die separate Temperaturregelung von zwei Medienkreisen und haben somit einen geringeren Arbeitsaufwand für die Verkabelung.

Weniger Energieverbrauch

Bei Geräten ohne Inverter ist die Drehzahl abhängig von der Netzfrequenz, was dazu führt, dass Leistung verschwendet wird. Mit unserem dualen HRL-Industriekühler sparen Sie hingegen um bis zu 34 Prozent Energie. Möglich macht das der eingebaute Dreifach-Inverter, der die Motordrehzahl von Kompressor, Lüfter und Pumpen abhängig von der Last der Benutzeranlage steuert.

Des Weiteren erwärmt unser Dual Loop Chiller das Umlaufmedium ohne elektrisches Heizelement und spart dadurch zusätzlich Energie. Statt des Heizelements wird die Prozesswärme des Kompressors genutzt, indem das durch den Kompressor erhitzte Kältemittel (Gas) zum Erwärmen verwendet wird.

Einfach bedienbares Touchpanel

Das benutzerfreundliche Touchpanel ermöglicht verschiedene Anzeigen und Einstellungen: Die Statusanzeige liefert beispielsweise Angaben zu Temperaturen und Durchflussmengen; mittels numerischer Tastatur lassen sich individuelle Daten eingeben; der Temperaturverlauf des Umlaufmediums ist via Anzeige nachvollziehbar usw.

Sobald ein Alarm ausgelöst wird, wechselt der Bildschirm automatisch zum Informationsbildschirm und zeigt Codes und Inhalte des Alarms an.

Erreicht ein Bauteil die vorgegebene Betriebsdauer und muss getauscht werden, erfolgt ein Wartungshinweis.

Weitere Merkmale und Vorteile des HRL Dual Loop Chillers

Es gibt drei unterschiedliche Betriebsarten der Umlaufmedienpumpen, die Sie über das Touchpanel auswählen können:

• Druckregelmodus
• Durchflussregelmodus
• Pumpenbetriebsfrequenz (Rotation) Steuermodus

Außerdem verwenden beide Kreise mechanische, dichtungslose Pumpen. Das erspart Ihnen regelmäßige Prüfungen auf Leckagen sowie den Austausch von Gleitringdichtungen und reduziert insgesamt den Wartungsaufwand.

Standardmäßig inbegriffen sind weiters:

• integrierter Bypass (je ein Bypassventil für Oszillator und optisches System)
• elektrische Leitfähigkeitsregelung mit DI-Filter und eingebautem Elektromagnetventil zur Steuerung, wobei Sie die spezifische elektrische Leitfähigkeit des Umlaufmediums mithilfe des Touchpanels frei einstellen können
• Partikelfilter-Set, um Fremdkörper aus dem zirkulierenden Umlaufmedium zu entfernen – dank eines transparenten Behälters sind verschmutzte Elemente leicht erkennbar und schützen Ihre Anlage wirksam vor dem Eindringen von Fremdstoffen
• Transportrollen zum Bewegen sowie Stellfüße zur Feststellung des Kühlers

Sie wollen mehr über unseren Dual Loop Chiller der Serie HRL und seine Anwendungen erfahren?
Nehmen Sie Kontakt mit uns auf – unser Team beantwortet gerne Ihre Fragen.

Bleiben Sie immer auf dem neuesten Stand – im SMC Fluid Control Lab gibt es viel zu entdecken!

Sie wollten schon immer wissen, wie Sie Ihre Prozesse verbessern und innovative Lösungen für Ihre täglichen Herausforderungen finden können? Dann werfen Sie doch einen Blick in unser virtuelles SMC Fluid Control Lab.

In unserem neuen YouTube-Kanal teilen wir unser Wissen über die besten und interessantesten Tests, Anwendungsverbesserungen und Hacks, die wir gemeinsam mit unseren Kunden entwickelt haben. Und damit helfen wir auch Ihnen, Ihre Prozesse zu verbessern.

Tipp: Abonnieren Sie unseren YouTube-Kanal, damit Sie keine Neuigkeiten verpassen!

Das Problem beim Belüften einer Hochvakuumkammer: Wird sie zu schnell belüftet, entstehen Turbulenzen und es werden unerwünschte Partikel in der Kammer aufgewirbelt.

Zudem sind im Hochvakuum-Bereich sehr empfindliche Instrumente im Einsatz, die nur wenig Druck vertragen. Deshalb ist es besonders wichtig, die Hochvakuumkammer langsam und kontrolliert zu belüften. Deshalb hat SMC das HV-Bypassventil entwickelt.

Das HV-Bypassventil – eine Kombination aus Drossel und Ventil

Mit dem HV-Bypassventil von SMC sorgen Sie für eine gleichmäßige Belüftung Ihrer Hochvakuumkammer. Das Ventil ist eine Kombination aus Drossel und Ventil, das eine praktisch turbulenzfreie Belüftung möglich macht. Dank der zweistufigen Belüftung können Sie die Partikelanzahl in der Kammer drastisch reduzieren, ohne den Prozess unnötig in die Länge zu ziehen.

Je nach Anwendung können Sie mithilfe der integrierten Drossel die Geschwindigkeit beim Vakuumkammer belüften einstellen. Dieses Ventil macht es macht es möglich, in der ersten Stufe langsam über die Drossel zu belüften und erst dann das Ventil vollständig zu öffnen. Beide Stufen sind einstellbar und passen sich Ihrer Applikation an. Zusätzlich spart dieses Kombinationsventil Platz, weil Drossel und Ventil nicht mehr auf separaten Linien installiert werden müssen.

Wofür brauchen wir Hochvakuum?

Hochvakuum ist essenziell für unser tägliches Leben, auch wenn uns das meist nicht bewusst ist. Viele Produkte könnten ohne Hochvakuum gar nicht hergestellt werden – wie zum Beispiel Mikrochips, beschichtete Werkezuge, Brillen, Folien. Aber auch bei der Qualitätskontrolle ist Hochvakuum unverzichtbar. Es wird zum Beispiel für Dichtheitsprüfungen bei Wärmepumpen, Bremssystemen, Airbags, Kühlschränken usw. eingesetzt.

Einen ganz wichtigen Beitrag leistet es in der Forschung und der Analytik. Weder das Massenspektrometer noch das Elektronenmikroskop könnten ohne Hochvakuum funktionieren. Deshalb hängen die wichtigsten Erkenntnisse und Fortschritte in der Medizin und der Kriminaltechnologie unmittelbar von dieser Technologie ab.

SMC-Qualität setzt Maßstäbe

Die HV-Bypassventile von SMC sind weltweit im Einsatz – aus gutem Grund. Unsere Produkte sind extrem langlebig und korrosionsbeständig und erfüllen die höchsten Dichtheitsstandards.

Mehr über Hochvakuum und seine Anwendungsgebiete finden Sie hier.

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Es kommt auf die Pumpe an: Beim Elektronenmikroskop kühlen übertragen sich alle Schwingungen auf das Mikroskop. Deshalb hat SMC eine Magnetpumpe mit minimalen Vibrationen entwickelt.

Wo Lichtmikroskope nicht mehr ausreichen, kommen Elektronenmikroskope zum Einsatz. Durch die viel kürzere Wellenlänge ist es möglich, Objekte um bis zu 10.000.000 vergrößert zu betrachten. Aber diese Mikroskope haben auch ihre Tücken: Sie entwickeln Abwärme, die die Ergebnisse negativ beeinflussen.

So funktioniert ein Elektronenmikroskop

Elektronenmikroskope verwenden kein Licht, um Objekte abzubilden, sondern – wie der Name schon  sagt – Elektronen. Abgesehen von einer viel höheren Auflösung gibt es noch einen Vorteil: Man kann damit auch das Innere eines Objekts abbilden. Denn Elektronen haben eine sehr kurze Wellenlänge und können Materialien leicht durchdringen.

Die Elektronen werden mittels Hochspannung in einer sogenannten Elektronenkanone erzeugt und nach unten in Richtung des Objekts geschossen. Bis zu 9 elektromagnetische Linsen fokussieren und lenken sie.

Dass bei diesem Prozess sehr große Hitze entsteht, versteht sich von selbst. Umso wichtiger ist es, dass die Quelle und auch die Linsen gekühlt werden und eine stabile Temperatur herrscht – andernfalls kann das Elektronenmikroskop keine korrekten Ergebnisse abbilden.

Elektronenmikroskop kühlen – das Problem mit den Vibrationen

Für die perfekte Kühlung zirkuliert das Kühlwasser durch die elektromagnetischen Linsen. Eine Pumpe sorgt dafür, dass alles im Fluss bleibt. Und diese Pumpe ist ein wichtiger Teil des Temperiergeräts und kann die Ergebnisse negativ beeinflussen. Denn jede noch so kleine Vibration überträgt sich auf das  die Linsen, die dann die Elektronen nicht mehr korrekt lenken und fokussieren können.

Abhilfe schafft die magnetisch gekoppelte Pumpe von SMC. Sie wurde speziell zum Elektronenmikroskop kühlen entwickelt und generiert nur geringe Vibrationen. Das garantiert eine stabile Temperatur und die optimale Auflösung aller Bilder.

Höchste Qualität im Dauerbetrieb

Die SMC Temperiergeräte mit  Magnetpumpe können problemlos im Dauerbetrieb laufen – und das völlig wartungsfrei, bis zu 3 Jahre ohne Service.

Sie wollen mehr über die Temperiergeräte zum Elektronenmikroskop kühlen erfahren? Melden Sie sich bei uns, wir helfen Ihnen gerne weiter!

Ein Schrank für alle Fälle: Der Schaltschrank für Pilotventile von SMC punktet in zwei Ausführungen mit vielen Vorteilen.

Überall dort, wo Pilotventile vor aggressiven Gasen oder Staub geschützt werden müssen, kommt der Schaltschrank von SMC zum Einsatz. Und es mangelt nicht an Einsatzgebieten. Viele Branchen schalten Ventile zentral über Pilotventile, zum Beispiel in der Robotik, im Maschinenbau, in der Pharmaindustrie, bei Oberflächenbehandlungen und vieles mehr.

Für schnelle Lieferzeiten bieten wir unsere Schaltschränke in Standardgrößen. Das Innenleben und die Anschlussvarianten können Sie jedoch komplett an Ihre Bedürfnisse anpassen. Ob bottom-ported oder side-ported, Ports aus Kunststoff oder Edelstahl – unser Schaltschrank für Pilotventile spielt alle Stücke.

Kunststoff oder Edelstahl

Wenn Ihre Pilotventile nur vor Staub geschützt werden müssen, ist die Kunststoff-Ausführung perfekt für Sie geeignet. Dank der transparenten Abdeckung haben Sie außerdem das Innenleben immer im Blick.

Oft sind neben Staub noch aggressive Gase im Spiel. In diesen Fällen bietet die Edelstahl-Ausführung den perfekten Schutz. Und die Anschlüsse sind wahlweise aus Kunststoff oder ebenfalls aus Edelstahl möglich – damit ist Ihr Schaltschrank für Pilotventile extrem robust und langlebig.

Der Schaltschrank für Pilotventile von SMC: Ihre Vorteile

Dank der Standardgrößen können wir Ihnen sehr schnelle Lieferzeiten und ein einzigartiges Preis-Leistungs-Verhältnis garantieren. Wir haben jeden Schaltschrank für Pilotventile lagernd und passen einfach das Innenleben für Ihre Zwecke an. Natürlich sind verschiedene Anschlussvarianten für Ventile und Ventilinseln problemlos möglich, optional mit modularem Adapter für Filterregler.

So einfach funktioniert’s

Sie konfigurieren mit unserem Konfigurator Ihren gewünschten Schaltkasten für Pilotventile und übermitteln uns Ihre Auswahl. Unser Team erstellt ein 3D-Modell nach Ihren Angaben und schon am nächsten Tag erhalten Sie dieses Modell und exakte Preisangaben.

Sie haben noch Fragen? Wir sind jederzeit gerne für Sie da!