SMC Ionisiergeräte der Serien IZS und IZT schützen elektronische Bauteile wie z. B. Chips in der Halbleiterindustrie bei der Produktion vor elektrostatischer Aufladung und den daraus folgenden Defekten. Dazu erfassen und neutralisieren sie die elektrostatische Ladung, indem die Ionisierer positiv und negativ geladene Ionen produzieren und zum jeweiligen Werkstück emittieren.

Serie IZS mit integriertem Controller

Bei unserer IZS-Serie (IZS40/41/42) handelt es sich um All-in-one-Geräte mit einer Bauhöhe von ca. 10 cm: Ionisations-, Elektronik- und Hochspannungseinheit befinden sich alle in einem Gerät.

Ionisierer in Dual-AC-Ausführung (IZS42) verringern die Potenzialamplitude am Werkstück. Durch die gleichzeitige Entladung positiver und negativer Ionen ist gewährleistet, dass beide das Werkstück gleichmäßig erreichen und somit die Potenzialamplitude am Werkstück reduziert wird.

Der IZS41 baut statische Elektrizität sehr schnell wegen dem optionalen Feedbacksensor ab. Der Sensor erfasst die elektrostatische Ladung des zu entladenden Objekts, misst die Ladespannung und emittiert anschließend Ionen der umgekehrten Polarität.

Unser Ionisiergerät IZS40 in Standardausführung lässt sich sehr einfach durch Einschalten des Ionisierers steuern. Die Entladezeit beträgt 3,2 Sekunden (41 % schneller) bei Installation auf großer Entfernung (1.000 mm).

Thermo-Chiller der Serie HRR

HRR-Thermo-Chiller vereinen eine leichte, kompakte Bauform mit hoher Kühlleistung und können sowohl kühlen als auch heizen. Eine Temperaturstabilität von +/- 0,1° Celsius ist gewährleistet. Die Kühlleistung erstreckt sich in der luftgekühlten Ausführung von 0,95 kW bis 4,5 kW, in der wassergekühlten bis 5,0 kW.

Temperiergeräte der Serie HRR sind einfach und komfortabel zu warten, da sämtliche Wartungsteile über eine auf der Vorderseite befindliche Wartungsklappe erreichbar sind. Außerdem ist die Wartung dank der Selbstdiagnose des Chillers planbar.

Standardmäßig sind ein Bypass-Ventil und ein Durchflusssensor eingebaut, was die Einstellung des Durchflusses in der Anwendung sehr einfach macht. Sowohl Durchfluss als auch Druckregelung lassen sich auf einem farbigen Display anzeigen. Ein abgewinkelter Einfüllstutzen erleichtert das Einfüllen des Umlaufmediums.

Durch den Einbau in ein 19-Zoll-Rack lässt sich die Stellfläche um 53 Prozent (nach EIA-Standards) verringern, weil gleich mehrere HRR-Thermo-Chiller in einen Schrank eingebaut werden können. Sie benötigen also nur einen sehr kleinen Stellplatz.

Thermo-Chiller der Serie HRR sind speziell auf die Bedürfnisse der Laserindustrie ausgerichtet. Sie sind aber genauso für Elektronenmikroskope, digitale Röntgengeräte oder das Kühlen von Proben und Reagenzien geeignet.

Thermo-cons der Serie HECR

Unsere HECR-Thermo-cons sind hochpräzise Temperiergeräte in Peltier-Ausführung, die sich platzsparend in 19-Zoll-Racks montieren lassen. Peltier-Elemente können sowohl zur Kühlung als auch zum Heizen verwendet werden.

Der einstellbare Temperaturbereich unserer Thermo-cons erstreckt sich von 10 bis 60 °Celsius, die Temperaturstabilität ist mit +/- 0,01 °Celsius extrem hoch. In der luftgekühlten Ausführung erbringen unsere Geräte eine Kühlleistung von 200 bis 1.000 Watt, die wassergekühlte gibt es mit 800 und 1.200 Watt.

Thermo-cons eignen sich zur präzisen Temperaturregelung einer Wärmequelle oder von Prozessmedien. Sie sind kältemittelfrei, umweltfreundlich und überzeugen durch ihr geräuscharmes und energiesparendes Design. Die Konstruktion ohne Kompressor hat naturgemäß weniger bewegliche Teile – dadurch kommt es zu weniger Vibrationen und geringeren Verwirbelungen, was für eine stark verminderte Geräuschentwicklung sorgt. Mangels Gebläse ist speziell die wassergekühlte Ausführung leiser.

Der Einfüllanschluss befindet sich an der Vorderseite, so kann das Medium (Leitungswasser oder Ethylenglycol 20 %) zugeführt werden, ohne das Gerät aus dem Rack ausbauen zu müssen. Durch ein darunter befindliches Sichtfenster lässt sich das Volumen des Umlaufmediums überprüfen. Ein Ablassen des Umlaufmediums ist möglich, ohne die Verschlauchung zu entfernen, da sich auch der Auslassanschluss an der Vorderseite befindet.

HECR-Thermo-cons eignen sich für hochpräzise Anwendungen, die einen vibrationsarmen Betrieb erfordern, wie zum Beispiel:

• Laserstrahlbearbeitung und Lasermarker – Kühlung des laserbestrahlten Teils
• UV-Trocknungsanlage zum Bedrucken, Lackieren, Kleben und Dichten – die UV-Lampe wird gekühlt
• digitale Röntgengeräte – Überwachung der Temperatur von Röntgenröhre und -lichtsensor
• Elektronenmikroskop – die Temperatur eines elektronenbestrahlten Teils wird überwacht
• Prüfgerät für Ultraschallwellen – Temperaturüberwachung des Ultraschall-Laserteils

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Zusätzlich zu unserer interaktiven Auswahlhilfe stehen wir Ihnen sehr gerne auch persönlich für Ihre Fragen zu unseren Druckminderern von AP Tech und deren Anwendungsmöglichkeiten zur Verfügung –
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Im Prinzip will sie keiner haben und doch – oder gerade deshalb – sind sie ein großes Thema in der Halbleiterindustrie: Partikel. Bei der Produktion von Wafern dreht sich vieles darum, Partikel weitesgehend zu vermeiden, weil sie zu Problemen und Schäden führen können.

Was genau sind Partikel?

Unter Partikeln sind prinzipiell kleine Teilchen zu verstehen. In der Halbleiterindustrie spricht man im Zusammenhang mit dem Reinraum und der Kontaminierung der Wafer von Partikeln. Damit sind alle für die Schaltung schädlichen kleinen Teilchen gemeint, wie etwa winzige Staubteilchen, Hautschuppen und Photolacksplitter, oder Abrieb, der beim Schalten von Ventilen entsteht, aber auch Fremdatome wie beispielsweise Schwermetalle.

Als Wafer bezeichnet man flache, ca. 1 mm dünne Scheiben aus einem Halbleitermaterial, auf denen Mikrochips hergestellt werden. Laut Mooreschem Gesetz muss der Abstand zwischen den Halbleiterbahnen auf einem Wafer immer kleiner werden. Unter diesem Aspekt ist es nachvollziehbar, dass selbst kleinste Teilchen, also Partikel, zu Problemen in der Produktion führen können.

Optimierte Prozesse durch Messen der Partikelperformance

Das größte Problem, mit dem Kunden in der Halbleiterindustrie oftmals konfrontiert sind, ist, dass sie einerseits gar nicht wissen, welche der eingesetzten Komponenten Partikel abgeben, und zum anderen nicht, wie viele Partikel das sind.

SMC-Kunden sind hier klar im Vorteil: Wir können die Partikelabgabe unserer PFA-Ventile in Echtzeit messen, d. h. wenn das Ventil geschalten wird. Diese sogenannte Partikelperformance zeigt auf, wie viele Partikel ein Produkt während der Verwendung freisetzt. Das funktioniert mit einem optischen Partikelzähler für Flüssigkeiten: Ein Laser strahlt in die Flüssigkeit – wird das Licht vom Laser gebrochen bedeutet das, dass ein Partikel erkannt wurde. Dieses Wissen um die Partikelperformance ermöglicht unseren Kunden, ihre Prozesse entsprechend zu optimieren und ihren Output zu steigern.

Sie wollen mehr über die Messung der Partikelperformance erfahren, um Ihre Prozesse entsprechend optimieren zu können?
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Unsere neue Ventil-Serie JLV (JLV20-Z07 und JLV30-Z11) haben wir speziell für die Bearbeitung von Wafern in der Halbleiterindustrie entwickelt. Werden dabei SMC-Ventile der Serie JLV verwendet, gibt es gegenüber vergleichbaren Ventilen bedeutend weniger Abrieb und somit Partikel, die den Produktionsprozess stören und dem Wafer schaden könnten.

Herstellung von Mikrochips erfordert höchste Reinheit

Ein Wafer ist das Rohmaterial, aus dem Mikrochips für Computer entstehen, und bedeutet übersetzt so viel wie „dünne Scheibe”. Mikrochips werden immer kleiner und besser, ihre Schaltkreise sind extrem klein. Deshalb erfordert die Produktion in der Halbleiterindustrie höchste Reinheit – selbst geringste Spuren von Metallen können Kurzschlüsse verursachen.

So funktionieren partikeloptimierte JLV-Ventile

Im Herstellungsprozess von Mikrochips sorgt das On-off-Ventil dafür, den Flüssigkeitsstrom des Mediums an- bzw. auszuschalten – zum Beispiel wenn eine Chemikalie auf einen Wafer aufgetragen wird. Dabei muss besonders sauber gearbeitet werden, sodass keine Verunreinigungen (Partikel) auf den Wafer kommen, denn das könnte den Produktionsprozess stören und den Wafer beschädigen oder gar Teile des Wafers zerstören.

Ventile der Serie JLV sind mit einem sogenannten „Piston Shutter” ausgestattet. Er verringert die Schließgeschwindigkeit im letzten Drittel des Ausschaltvorgangs und reduziert damit die kinetische Energie, die auf den Ventilsitz wirkt. Weniger kinetische Energie bedeutet weniger Abrieb und somit weniger Partikel.

Da SMC-Ventile der Serie JLV besonders wenig Partikel beim An- und Ausschaltvorgang generieren, wird der Output auf Kundenseite erhöht.

Sie wollen mehr über unsere neuen, partikeloptimierten JLV-Ventile und deren Anwendungsmöglichkeiten erfahren?
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Für medizinische Applikationen ist eine FDA-Zertifizierung nach 21 CFR 177.1550 ein absolutes Muss. Die verwendeten Materialien unserer SMC-Produktserien PEAPP, TD, TH, TL, LQ3, LVD, PAB, PF und LVQ erfüllen die geforderten FDA-Bestimmungen von § 177.1550. Das bedeutet: All unsere PFA-Artikel in den Produktsparten Pumpen, Schläuche und Ventile sind aus Materialien gefertigt, die die FDA-Bestimmungen erfüllen.

Wer ist die FDA?

Die FDA (Food and Drug Administration) ist eine US-amerikanische Behörde, die für die Zulassung und Marktüberwachung von Lebensmitteln, Medikamenten und Medizinprodukten verantwortlich ist.

In den FDA-Richtlinien ist festgeschrieben, welche Materialien, Geräte und Werkzeuge beim Umgang mit bestimmten Produktklassen eingesetzt werden dürfen. Ziel dabei ist, die Reinheit der Produkte zu erreichen und bestimmte Kontaminierungen durch Krankheitserreger wie beispielsweise Schimmelpilze zu vermeiden.

Eine Zulassung durch die FDA bescheinigt demnach, dass

• die Vorteile eines Produkts die bekannten Risiken überwiegen,
• die relevanten FDA-Anforderungen erfüllt sind
• und bei sachgemäßer Produktnutzung keinerlei Gefährdung für Endkunden besteht.

Besondere Anforderungen im Life Science Bereich

Ein Teil des Bereichs Life Science ist die Medizintechnik. Unternehmen in dieser Branche, zum Beispiel Dentaltechniker oder Hersteller von Geräten für die Analyse von Blut, Proteinen und Harn, brauchen einen zuverlässigen, kompetenten Partner an ihrer Seite. Auch für Betriebe, die Lebensmittel erzeugen (z. B. Brauereien und Hersteller anderer Getränke), wird eine FDA-Zulassung notwendig.

Nicht alle Anbieter sind FDA-zertifiziert bzw. verfügen deren Produkte lediglich über eine unzureichende Zertifizierung. Für Kunden kann das zu Problemen mit Behörden führen bzw. können sie die entsprechenden Produkte gar nicht erst einsetzen.

Mit den eingangs genannten SMC-Produktserien sind Sie hingegen auf der sicheren Seite: Da die genutzten Materialien die Anforderungen der FDA-Zertifizierung § 177.1550 erfüllen, haben Sie die Gewissheit, dass es nicht zu Verunreinigungen durch unsere Produkte kommt und Ihre Zulassungen problemlos abgesegnet werden.

Sie sind an Details unserer FDA-zertifizierten Produktserien interessiert?
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