Direkte Temperierung von Chemikalien mittels HED Thermo-Controller

Mit unserer Thermo-con-Serie HED lassen sich die Temperaturen von Chemikalien und hochreinen Medien direkt steuern.

Eine direkte Temperatursteuerung von Chemikalien mit dem SMC Thermo Controller gewährleistet eine Temperaturstabilität von +/- 0,1° Celsius. Jene Teile, die mit den Chemikalien in Berührung kommen, bestehen aus dem chemiebeständigen Kunststoff PFA, wodurch Verunreinigungen durch Metall-Ionen-Elution verhindert werden.

Eine kompakte Bauweise und ein geringes Gewicht sind Resultat des eigens entwickelten Wärmetauschers, den wir speziell an die Form der Peltier-Elemente angepasst haben.

Peltier-Technologie zum Kühlen und Heizen

Als Peltier-Element bezeichnet man einen elektrothermischen Wandler, der bei Stromdurchfluss eine Temperaturdifferenz oder bei Temperaturdifferenz einen Stromfluss erzeugt. Peltier-Elemente eignen sich sowohl zur Kühlung als auch zum Heizen (bei Stromrichtungsumkehr).

Die größten Vorteile von Peltier-Elementen liegen in der geringen Größe und dem geringen Gewicht, außerdem ermöglichen sie ein schnelles Umschalten und eine präzise Temperatursteuerung.

Der Peltier-Effekt beruht auf dem Kontakt von zwei Halbleitern, deren Leitungsbänder unterschiedliche Energieniveaus haben. Mit steigendem Strom sinkt die Effizienz, mit guter Zu- und Ableitung von Wärme steigt sie.

Anwendungen des HED Thermo-Controllers

Anwendungen unserer Thermo-Con-Serie HED sind vorwiegend in der Halbleiterindustrie, zum Beispiel bei Reinigungsgeräten, Beschichtungsanlagen und Nassätzanlagen. Aber auch Chemikalientanks können damit temperiert werden.

Anwendungen des HED Thermo-Controllers

Chemische Prozesse erfordern stabile Temperaturen

Vor allem in der Halbleiterindustrie werden die Anforderungen an stabile Temperaturen bei chemischen Prozessen immer anspruchsvoller. Die stetig kleiner werdenden Strukturen erfordern höchste Reinheit und präzise Prozesse.

Auf die Wafer (dünne Siliziumscheiben, die zu Mikrochips verarbeitet werden) dürfen keine leitenden Moleküle, also Metalle, gelangen. Dazu müssen alle Medien, die zum Bearbeiten des Wafers nötig sind, in UHP (Ultra High Purity) Systemen zugeführt werden. Da selbst geringste Metallspuren in den dünnen Bahnen Kurzschlüsse verursachen, erfolgt die Herstellung dieser feinen Strukturen in Reinräumen.

Verwendbare Medien für die direkte Temperatursteuerung

Beispiele für Medien, die sich mittels SMC Thermo-con-Serie HED direkt temperieren lassen, sind:

  • Reinwasser
  • Fluorwasserstoffsäure
  • Schwefelsäure (ausgenommen rauchende)
  • Kupfersulfatlösung
  • Ammoniak-Wasserstoff-Peroxid-Lösung
  • Natriumhydroxid
  • Ozonwasser

Der Betriebstemperaturbereich liegt bei den genannten Medien zwischen 10 und 60° Celsius.

Sie wollen mehr über unseren Thermo-Controller der Serie HED und dessen Anwendungsmöglichkeiten erfahren?

Nehmen Sie Kontakt mit uns auf – unser Team beantwortet gerne Ihre Fragen und erarbeitet Lösungen, die exakt auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten sind.

Ionisiergeräte zum Abbau elektrostatischer Ladung

SMC Ionisiergeräte der Serien IZS und IZT schützen elektronische Bauteile wie z. B. Chips in der Halbleiterindustrie bei der Produktion vor elektrostatischer Aufladung und den daraus folgenden Defekten. Dazu erfassen und neutralisieren sie die elektrostatische Ladung, indem die Ionisierer positiv und negativ geladene Ionen produzieren und zum jeweiligen Werkstück emittieren.

Serie IZS mit integriertem Controller

Bei unserer IZS-Serie (IZS40/41/42) handelt es sich um All-in-one-Geräte mit einer Bauhöhe von ca. 10 cm: Ionisations-, Elektronik- und Hochspannungseinheit befinden sich alle in einem Gerät.

 

Ionisierer in Dual-AC-Ausführung (IZS42) verringern die Potenzialamplitude am Werkstück. Durch die gleichzeitige Entladung positiver und negativer Ionen ist gewährleistet, dass beide das Werkstück gleichmäßig erreichen und somit die Potenzialamplitude am Werkstück reduziert wird.

Der IZS41 baut statische Elektrizität sehr schnell wegen dem optionalen Feedbacksensor ab. Der Sensor erfasst die elektrostatische Ladung des zu entladenden Objekts, misst die Ladespannung und emittiert anschließend Ionen der umgekehrten Polarität.

Unser Ionisiergerät IZS40 in Standardausführung lässt sich sehr einfach durch Einschalten des Ionisierers steuern. Die Entladezeit beträgt 3,2 Sekunden (41 % schneller) bei Installation auf großer Entfernung (1.000 mm).

Serie IZS mit integriertem Controller 

 

Serie IZT mit separatem Controller

Bei der Serie IZT kann der Ionisationsstab getrennt von Elektronik- und Hochspannungseinheit aufgebaut werden. Der Ionisierstab hat eine Bauhöhe von ca. 37 mm und ist somit gut geeignet für enge, verbaute und platzbegrenzte Stellen in der Anlage.

 

Mit dieser Aufbauart lassen sich auch elektromagnetische Felder, die von der Elektronik- und Hochspannungseinheit resultieren können, minimieren. Diese Serie ist mit IO-Link verfügbar (herstellerunabhängige Feldbusanbindung an die SPS).

Unsere IZT-Serie gibt es in Stabausführung (IZT40/41/42) und Düsenausführung (IZT43). Ionisierer mit Düse entfernen Staub und bauen statische Elektrizität beispielsweise von Plastikflaschen mittels Ausblasimpuls ab.

Ionisierer der Serie IZT sind in Dual-AC- (Erläuterung siehe IZS-Serie) und AC-Ausführung (IZT41+43) erhältlich. Bei der AC-Ausführung erreichen positive und negative Ionenschichten abwechselnd das Werkstück, was für die Aufrechterhaltung einer konstanten Offset-Spannung sorgt.

Der Controller ermöglicht eine einfache Überwachung der einzelnen Ionisierer und kann zur Steuerung von maximal 4 Ionisierern verwendet werden, wobei eine gemischte Verbindung von Stab und Düse möglich ist. Er erkennt Ionisierer-Fehler schnell und überwacht Verunreinigungen der Elektrodennadeln. Auf deren Oberfläche wird Druckluft abgeblasen, was Verunreinigungen der Emitter minimiert.

Serie IZT mit separatem Controller

Anwendungsgebiete von Ionisierern

  • In der Halbleiterproduktion beim Bearbeiten von Wafern für die Chipherstellung.
  • Verhindert, dass Glassubstrate durch statische Elektrizität beschädigt werden, die entsteht, wenn das Substrat von der Oberflächenplatte angehoben wird.
  • Abbau statischer Elektrizität auf Leiterplatten: Verhindert durch Entladungen verursachte Brüche der Bauteile und das Anhaften von Staub.
  • Bei Werkstücken aus Kunststoff und Gummi: Verhindert beispielsweise das Fallen von Flaschen auf dem Förderband sowie Staubablagerung und verbessert die Ablösbarkeit von Objekten aus Pressformen.

Vorteile für unsere Kunden

  • niedrige Potenzialamplitude von maximal 25 Volt minimiert Defekte und ungeplante Stillstände
  • hohe Entladegeschwindigkeit (3,2 Sekunden auf 1 Meter Entfernung) erlaubt schnellere Produktion
  • Feedbacksensor zur Optimierung der Entladegeschwindigkeit
  • IO-Link zur herstellerunabhängigen Feldbusanbindung an die SPS
  • platzsparend (IZT-Serie) und dadurch für den Einbau bei engen Platzverhältnissen bestens geeignet (z. B. bei Rotationsdruckmaschinen)
  • weniger Ausschuss
  • Kostensenkung
  • höhere Produktionssicherheit
  • langlebige Lösung

Sie wollen mehr über unsere Ionisiergeräte der Serien IZS und IZT und deren Einsatzgebiete erfahren?

Nehmen Sie Kontakt mit uns auf – unser Team beantwortet gerne Ihre Fragen.

Temperiergeräte für 19-Zoll-Racks

Stehen Sie vor der Herausforderung, dass Sie nur eine begrenzte Bodenfläche für Ihre Kühlgeräte zur Verfügung haben?

Dann eignen sich unsere Thermo-Chiller der HRR-Serie sowie unsere Thermo-cons der HECR-Serie ganz besonders, weil sie in ein standardisiertes 19-Zoll-Rack passen. Damit können Sie mehr als 50 Prozent Bodenfläche einsparen – einen ersten Eindruck vermittelt Ihnen unser kurzes Video.

Thermo-Chiller der Serie HRR

HRR-A-001HRR-Thermo-Chiller vereinen eine leichte, kompakte Bauform mit hoher Kühlleistung und können sowohl kühlen als auch heizen. Eine Temperaturstabilität von +/- 0,1° Celsius ist gewährleistet. Die Kühlleistung erstreckt sich in der luftgekühlten Ausführung von 0,95 kW bis 4,5 kW, in der wassergekühlten bis 5,0 kW.

Temperiergeräte der Serie HRR sind einfach und komfortabel zu warten, da sämtliche Wartungsteile über eine auf der Vorderseite befindliche Wartungsklappe erreichbar sind. Außerdem ist die Wartung dank der Selbstdiagnose des Chillers planbar.

Standardmäßig sind ein Bypass-Ventil und ein Durchflusssensor eingebaut, was die Einstellung des Durchflusses in der Anwendung sehr einfach macht. Sowohl Durchfluss als auch Druckregelung lassen sich auf einem farbigen Display anzeigen. Ein abgewinkelter Einfüllstutzen erleichtert das Einfüllen des Umlaufmediums.

Durch den Einbau in ein 19-Zoll-Rack lässt sich die Stellfläche um 53 Prozent (nach EIA-Standards) verringern, weil gleich mehrere HRR-Thermo-Chiller in einen Schrank eingebaut werden können. Sie benötigen also nur einen sehr kleinen Stellplatz.

Thermo-Chiller der Serie HRR sind speziell auf die Bedürfnisse der Laserindustrie ausgerichtet. Sie sind aber genauso für Elektronenmikroskope, digitale Röntgengeräte oder das Kühlen von Proben und Reagenzien geeignet.

Thermo-cons der Serie HECR

Temperiergeräte für 19-Zoll-RacksUnsere HECR-Thermo-cons sind hochpräzise Temperiergeräte in Peltier-Ausführung, die sich platzsparend in 19-Zoll-Racks montieren lassen. Peltier-Elemente können sowohl zur Kühlung als auch zum Heizen verwendet werden.

Der einstellbare Temperaturbereich unserer Thermo-cons erstreckt sich von 10 bis 60 °Celsius, die Temperaturstabilität ist mit +/- 0,01 °Celsius extrem hoch. In der luftgekühlten Ausführung erbringen unsere Geräte eine Kühlleistung von 200 bis 1.000 Watt, die wassergekühlte gibt es mit 800 und 1.200 Watt.

Thermo-cons eignen sich zur präzisen Temperaturregelung einer Wärmequelle oder von Prozessmedien. Sie sind kältemittelfrei, umweltfreundlich und überzeugen durch ihr geräuscharmes und energiesparendes Design. Die Konstruktion ohne Kompressor hat naturgemäß weniger bewegliche Teile – dadurch kommt es zu weniger Vibrationen und geringeren Verwirbelungen, was für eine stark verminderte Geräuschentwicklung sorgt. Mangels Gebläse ist speziell die wassergekühlte Ausführung leiser.

Der Einfüllanschluss befindet sich an der Vorderseite, so kann das Medium (Leitungswasser oder Ethylenglycol 20 %) zugeführt werden, ohne das Gerät aus dem Rack ausbauen zu müssen. Durch ein darunter befindliches Sichtfenster lässt sich das Volumen des Umlaufmediums überprüfen. Ein Ablassen des Umlaufmediums ist möglich, ohne die Verschlauchung zu entfernen, da sich auch der Auslassanschluss an der Vorderseite befindet.

HECR-Thermo-cons eignen sich für hochpräzise Anwendungen, die einen vibrationsarmen Betrieb erfordern, wie zum Beispiel:

  • Laserstrahlbearbeitung und Lasermarker – Kühlung des laserbestrahlten Teils
  • UV-Trocknungsanlage zum Bedrucken, Lackieren, Kleben und Dichten – die UV-Lampe wird gekühlt
  • digitale Röntgengeräte – Überwachung der Temperatur von Röntgenröhre und -lichtsensor
  • Elektronenmikroskop – die Temperatur eines elektronenbestrahlten Teils wird überwacht
  • Prüfgerät für Ultraschallwellen – Temperaturüberwachung des Ultraschall-Laserteils

Sie wollen mehr über unsere platzsparenden, in 19-Zoll-Racks montierbaren Temperiergeräte der Serien HRR und HECR erfahren?
Kontaktieren Sie uns – unser Team beantwortet gerne Ihre Fragen.

Interaktive Auswahlhilfe für AP Tech Druckminderer

Ein geeigneter Druckminderer (wird auch Regler genannt) ist unerlässlich für jede Gasversorgung, denn ein konstanter und präzise einstellbarer Druck ist genauso wichtig wie die Auswahl des richtigen Gases.

Egal ob Sie inerte, toxische, korrosive oder hochreine Gase einsetzen: Bei uns finden Sie den passenden Regler für Ihre Bedürfnisse – mit unserer interaktiv aufbereiteten Auswahlhilfe erhalten Sie einen guten Überblick, welche Modelle für welche Anwendungen geeignet sind.

AP Tech Regulator A Choosing Help Zurodnung

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SerieS AP 1500

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SerieS AP 1900

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SerieS AP 1000

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SerieS AP 1600

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SerieS AP 9000 & AP 9100

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SerieS AP 9000 & AP 9100

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SerieS AZ 9200

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SerieS AP 1300

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SerieS AP 1100

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SerieS AP 1400T

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SerieS AP 500

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Operating Parameters Source pressure vacuum to 150 psig (10 bar)Delivery pressure  SL 5201A 100 mm Hg absolute to 10 psig (0.7 bar) SL 5202 0.5 to 30 psig (0.034 to 2 bar) SL 5210 1 to 100 psig (0.07 to 7 bar)Proof pressure 150% of operating pressuresBurst pressure 300% of operating pressures SerieS SL 5200

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SerieS SL 5500

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SerieS SL 5500

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SerieS SL 5400

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SerieS SL 5800

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SerieS AP 1700

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SerieS AP 2700

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SerieS BP 1000–Welded

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Series AK M60 & M66

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Series AK M80

AP Tech Regulator A Choosing Help Zurodnung

Datenblätter Standard Serien

Hoher Druck – hoher Durchfluss – nahe am Gaszylinder
AP12 – pdf     |   AP14 – pdf    |     AP90 – pdf

Hoher Druck – geringer Durchfluss – nahe am Gaszylinder
AP15 – pdf     |    AP19 – pdf

Hoher Druck – geringer Durchfluss
AP10 – pdf    |    AP16 – pdf

Geringer Druck – sehr hoher Durchfluss
  AP90 – pdf    |    AP91 – pdf    |    AP92 – pdf

Geringer Druck – hoher Durchfluss
AP13 – pdf

Vakuum
AP11 – pdf    |    AP14TA – pdf 

Datenblätter Spezial Serien

Mini
AP500 – pdf   |   SL52 – pdf

Federlos
SL52 – pdf    |   SL55 – pdf   |   SL54 – pdf  |   SL58 – pdf

Zweistufig
AP17 – pdf    |    AP27 – pdf

Ruckdruckregler
BP10 – pdf

Umschaltpanele
AKM6 – pdf    |    APM6 – pdf    |   AKM80 – pdf

So können Sie einfach und bequem Ihre Auswahl treffen: Bewegen Sie Ihren Cursor über ein beliebiges Modell und Sie sehen eine Vorschau des entsprechenden Datenblattes. Wenn Sie auf das Datenblatt klicken, öffnet es sich zur Gänze und Sie erhalten umfangreiche Informationen zum gewählten Modell.

Funktionsweise eines Druckminderers

Der Name ist Programm: Ein Druckminderer reduziert den Druck in einer mit Gas befüllten Leitung auf exakt jenes Maß, das in der jeweiligen Applikation schlussendlich benötigt wird. Diese Reduktion kann in einem Schritt erfolgen, meist handelt es sich jedoch um einen zweistufigen Prozess, bei dem zwei Druckminderer hintereinander zum Einsatz kommen.

Einsatzbereiche von AP Tech Druckminderern

AP Tech (Advanced Pressure Technology) wurde 1987 in den USA gegründet und hat sich innerhalb weniger Jahre zum führenden Anbieter von Druckreglern und Ventilen entwickelt, die in vielen verschiedenen Bereichen eingesetzt werden. SMC hat AP Tech 2007 übernommen, der ursprüngliche Name ist jedoch beibehalten worden.

Die Produkte von AP Tech eignen sich besonders für folgende Industrien:

  • Halbleiter und allgemeine Elektronik
  • Photovoltaik
  • Glasfaserherstellung
  • Luftfahrt
  • Automobil
  • Petrochemie
  • Biotechnologie
  • Pharmazie
  • Analytik

Regler für allgemeine sowie Reinraumanwendungen

Unsere AK Regler erfüllen unterschiedlichste Anforderungen in analytischen, technischen, lebensmitteltechnischen und medizinischen Anwendungen. Je nach Modell eignen sich AK-Regler für Druckbereiche bis zu 69 MPa (690 Bar).

Regler der Serien AP und AZ wurden für den Betrieb mit verschiedensten Reinstgasen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie entwickelt. Jedes Produkt dieser Serien wird unter Reinraumbedingungen hergestellt, getestet und verpackt. AP- und AZ-Regler sind für Druckbereiche bis zu 31 MPa (310 Bar) einsetzbar.

Zusätzlich zu unserer interaktiven Auswahlhilfe stehen wir Ihnen sehr gerne auch persönlich für Ihre Fragen zu unseren Druckminderern von AP Tech und deren Anwendungsmöglichkeiten zur Verfügung –
hier können Sie Kontakt mit uns aufnehmen.

CYPO: Pneumatischer Zylinder mit aufgebautem Stellungsregler

Bei einem Cylinder Positioner (CYPO) handelt es sich um einen pneumatischen Zylinder mit aufgebautem Stellungsregler. Normalerweise kann die Kolbenstange bei pneumatischen Zylindern nur ganz ausgefahren oder ganz eingefahren werden. Der aufgebaute Stellungsregler (Positioner) ermöglicht es jedoch, dass jede gewünschte Position dazwischen angefahren und gehalten werden kann, was zahlreiche Vorteile mit sich bringt.

Mit Smart Positioner für explosionsgefährdete Umgebungen

SMC bietet verschiedene Varianten für unterschiedliche Einsatzzwecke an. Die gängigste Variante wird mit einem sogenannten Smart Positioner umgesetzt und ist universell einsetzbar. Sie wird individuell nach Kundenwunsch gestaltet und angefertigt und ist in verschiedensten ATEX-Ausführungen erhältlich.

ATEX (französische Abkürzung für ATmosphères EXplosives) umfasst Richtlinien im Bereich des Explosionsschutzes für Geräte und Schutzsysteme, die in explosionsgefährdeten Umgebungen eingesetzt werden sollen.

Bei normalen Geräten besteht immer die Gefahr, dass ein Funke ausgelöst wird und austretendes Gas, Stäube oder brennbare Flüssigkeiten sich daran entzünden. CYPOs hingegen lassen sich so konstruieren, dass sie auch in explosionsgefährdeten Umgebungen eingesetzt werden können. Um die jeweils gewünschte ATEX-Kategorie zu erreichen, müssen die einzelnen Komponenten des CYPOs entsprechend ausgewählt werden.

Mit Smart Positioner für explosionsgefährdete Umgebungen

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Vorteile und Anwendungsgebiete

Der Einsatz von CYPOs hat viele Vorteile:

  • Sie sind robust, widerstandsfähig, ausdauernd und einfach in der Handhabung.
  • Geeignet für aggressive Umgebungen.
  • Ausführungen für Hochtemperatur oder Tieftemperatur möglich.
  • Erfordern nur geringen Wartungsaufwand.
  • Benötigen in Haltestellung fast keine Energie.
  • Sind mit Fail-safe-Ausführungen und Druckluftreservoir erhältlich und positionieren bei Strom- oder Druckluftausfall in eine sichere Stellung.

CYPOs werden bei großen Absperrklappen, Regelklappen, Plattenschiebern und Jalousieklappen genauso eingesetzt wie überall dort, wo beträchtliche Mengen an unterschiedlichen Medien wie Abgase, Zuluft, Abluft, Wasserdampf, Gase oder Flüssigkeiten geregelt werden müssen.

 

Ausführungen

Mit mechanischer Übertragung sind CYPOs mit Führungsplatte (das ist die am meisten verwendete Version) und mit Gelenkstangen erhältlich.

CYPOs mit Führungsplatte und Gelenkstangen
CYPOs mit Führungsplatte und Gelenkstangen

Eine einfache, günstige und zugleich robuste Lösung ist die Variante mit pneumatischem Positioner IP200, für die auch ATEX-Ausführungen möglich sind. Die Version ist auch mit elektropneumatischem Druckregler erhältlich und damit einfach elektrisch ansteuerbar.

Positioner IP200

Kann wegen Vibration, Temperatur- und rauen Umgebungsbedingungen kein Positioner direkt am Zylinder verwendet werden oder ist nicht genügend Platz vorhanden, eignen sich CYPOs mit Remotepositioner und Positionssensor.

Remotepositioner

Als sehr schnelle und präzise Komplettlösung bietet sich der Air Servo Cylinder (Serie IN-777) für Plattenschieber, große Absperrklappen, Regelklappen, Jalousieklappen, Kegelventile für Flotationszellen usw. an.

Sie wollen mehr über unsere CYPOs und deren Anwendungsmöglichkeiten erfahren?

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Einsparpotenzial mit neuen JSXF-Impulsventilen für zahlreiche Industrieanwendungen

Industriezweige, die ohnehin schon mit hohen Energiekosten konfrontiert sind, trifft die aktuelle Lage mit ihren ausufernden Energiepreisen besonders hart. Unsere Impulsventile der Serie JSXF bieten jede Menge Einsparpotenzial und können so dabei helfen, Kosten zu senken.JSXF-Ventile


In unserem kurzen Video finden Sie die wesentlichen Vorteile unserer JSXF-Ventile gegenüber herkömmlichen Impulsventilen anschaulich zusammengefasst.

Impulsblasluft für das Reinigen von Pulse-Jet-Filtern in verschiedenen Industrieanwendungen

Pulsventile werden überall dort gebraucht, wo mithilfe von Impulsblasluft die Filter von Dust Collectors gereinigt werden sollen. Diese Abreinigung von Filterschläuchen und Filtertaschen wird auch Jet-Pulse-Abreinigung genannt.

In diesem Artikel finden Sie eine detaillierte Beschreibung über die Funktionsweise und Einsatzbereiche von Impulsventilen.

 

 

DustCollector

Staub

Impulsblasluft kann in einer Vielzahl von Industrieanwendungen gebraucht werden:

  • allgemeine Produktionsanlagen
  • Stahl- und Zementindustrie
  • Bergbau
  • Pharmaindustrie
  • Landwirtschaft und Nutztierhaltung
  • Lebensmittelindustrie
  • holzverarbeitende Industrie
  • Textilverarbeitung
  • und viele andere mehr

Viel Potenzial für Einsparungen

JSXF-Impulsventile sind mit elektrischer oder pneumatischer Ansteuerung, in Anschlussgrößen von 3/4 Zoll bis 2 Zoll, mit Klemmverschraubung, für die Direktmontage oder mit Rohrgewindeanschluss erhältlich und für Temperaturen von -40 bis +60°C verwendbar.

Wenn Sie unsere optimierten Modelle der Impulsventil-Serie JSXF einsetzen, ergeben sich zahlreiche Vorteile und damit verbundene Einsparungen für Sie:

  • Lange Lebensdauer: Das JSXF-Ventil kann 10 Millionen Zyklen oder mehr durchlaufen – ausgehend von einer Abreinigung pro Minute und pausenlosem Betrieb entspricht das einer Lebensdauer von mehr als 19 Jahren. In der Realität sind die Abreinigungsintervalle jedoch zwei bis zehn Minuten lang.
  • Daraus ergeben sich sehr lange Wartungsintervalle.
  • Was wiederum den positiven Effekt nach sich zieht, dass die Anlage weniger Stillstandszeiten hat.
  • Zudem ist die Wartung sehr einfach durchzuführen, da es weniger Teile gibt (hochfeste Elastomermembran statt Sprungfeder).
  • Die Durchflussrate konnte dank optimierter Geometrie um ca. 40 Prozent gesteigert werden.
  • Der um 15 Prozent höhere Spitzen-Ausblasdruck hat zur Folge, dass sich der Filter mit weniger Druck reinigen lässt.
  • Dadurch sinkt der Druckluftbedarf um rund 35 Prozent und Sie sparen wertvolle elektrische Energie, da die Druckluft mittels Kompressors erzeugt werden muss.
  • Die um ungefähr 45 Prozent reduzierte Ansprechzeit beim Ausschalten spart ebenfalls Energie.
  • Durch das Einsparen wertvoller und teurer Energie senken Sie nicht nur Ihre Ausgaben, sondern tragen darüber hinaus auch zur Schonung unserer Umwelt bei.

Diagramn Druckluftverbrauch


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Messung der Partikelperformance

Im Prinzip will sie keiner haben und doch – oder gerade deshalb – sind sie ein großes Thema in der Halbleiterindustrie: Partikel. Bei der Produktion von Wafern dreht sich vieles darum, Partikel weitesgehend zu vermeiden, weil sie zu Problemen und Schäden führen können.

Was genau sind Partikel?

Unter Partikeln sind prinzipiell kleine Teilchen zu verstehen. In der Halbleiterindustrie spricht man im Zusammenhang mit dem Reinraum und der Kontaminierung der Wafer von Partikeln. Damit sind alle für die Schaltung schädlichen kleinen Teilchen gemeint, wie etwa winzige Staubteilchen, Hautschuppen und Photolacksplitter, oder Abrieb, der beim Schalten von Ventilen entsteht, aber auch Fremdatome wie beispielsweise Schwermetalle.

Als Wafer bezeichnet man flache, ca. 1 mm dünne Scheiben aus einem Halbleitermaterial, auf denen Mikrochips hergestellt werden. Laut Mooreschem Gesetz muss der Abstand zwischen den Halbleiterbahnen auf einem Wafer immer kleiner werden. Unter diesem Aspekt ist es nachvollziehbar, dass selbst kleinste Teilchen, also Partikel, zu Problemen in der Produktion führen können.

Optimierte Prozesse durch Messen der Partikelperformance

Das größte Problem, mit dem Kunden in der Halbleiterindustrie oftmals konfrontiert sind, ist, dass sie einerseits gar nicht wissen, welche der eingesetzten Komponenten Partikel abgeben, und zum anderen nicht, wie viele Partikel das sind.

SMC-Kunden sind hier klar im Vorteil: Wir können die Partikelabgabe unserer PFA-Ventile in Echtzeit messen, d. h. wenn das Ventil geschalten wird. Diese sogenannte Partikelperformance zeigt auf, wie viele Partikel ein Produkt während der Verwendung freisetzt. Das funktioniert mit einem optischen Partikelzähler für Flüssigkeiten: Ein Laser strahlt in die Flüssigkeit – wird das Licht vom Laser gebrochen bedeutet das, dass ein Partikel erkannt wurde. Dieses Wissen um die Partikelperformance ermöglicht unseren Kunden, ihre Prozesse entsprechend zu optimieren und ihren Output zu steigern.

Sie wollen mehr über die Messung der Partikelperformance erfahren, um Ihre Prozesse entsprechend optimieren zu können?
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JLV – die neue, partikeloptimierte SMC-Ventil-Serie

Unsere neue Ventil-Serie JLV (JLV20-Z07 und JLV30-Z11) haben wir speziell für die Bearbeitung von Wafern in der Halbleiterindustrie entwickelt. Werden dabei SMC-Ventile der Serie JLV verwendet, gibt es gegenüber vergleichbaren Ventilen bedeutend weniger Abrieb und somit Partikel, die den Produktionsprozess stören und dem Wafer schaden könnten.

Herstellung von Mikrochips erfordert höchste Reinheit

Ein Wafer ist das Rohmaterial, aus dem Mikrochips für Computer entstehen, und bedeutet übersetzt so viel wie „dünne Scheibe”. Mikrochips werden immer kleiner und besser, ihre Schaltkreise sind extrem klein. Deshalb erfordert die Produktion in der Halbleiterindustrie höchste Reinheit – selbst geringste Spuren von Metallen können Kurzschlüsse verursachen.

So funktionieren partikeloptimierte JLV-Ventile

Im Herstellungsprozess von Mikrochips sorgt das On-off-Ventil dafür, den Flüssigkeitsstrom des Mediums an- bzw. auszuschalten – zum Beispiel wenn eine Chemikalie auf einen Wafer aufgetragen wird. Dabei muss besonders sauber gearbeitet werden, sodass keine Verunreinigungen (Partikel) auf den Wafer kommen, denn das könnte den Produktionsprozess stören und den Wafer beschädigen oder gar Teile des Wafers zerstören.

Ventile der Serie JLV sind mit einem sogenannten „Piston Shutter” ausgestattet. Er verringert die Schließgeschwindigkeit im letzten Drittel des Ausschaltvorgangs und reduziert damit die kinetische Energie, die auf den Ventilsitz wirkt. Weniger kinetische Energie bedeutet weniger Abrieb und somit weniger Partikel.

Da SMC-Ventile der Serie JLV besonders wenig Partikel beim An- und Ausschaltvorgang generieren, wird der Output auf Kundenseite erhöht.

Sie wollen mehr über unsere neuen, partikeloptimierten JLV-Ventile und deren Anwendungsmöglichkeiten erfahren?
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Thermo-chiller Monitoring Software

Die Thermo-chiller Monitoring Software haben wir speziell für Kühlgeräte der Serie HRR entwickelt – sie dient dazu, Ihnen die Arbeit zu erleichtern.

Praktischerweise erfordert diese Software keine Installation auf dem PC des Anwenders – Sie müssen lediglich die .exe-Datei ins Zielverzeichnis kopieren und starten.

Die Verbindung mit dem Kühlgerät erfolgt mittels Front-USB-Anschluss.

Funktionen der HRR-Software

Sinn und Zweck der HRR-Software ist, die aktuellen Messdaten des Chillers anzuzeigen und (bei Bedarf) zu speichern. Sie können aber auch noch weitere Funktionen mit der Software durchführen:

  • Download der Messdaten
  • Lieferung grafischer Prozessdaten (Live-Daten der Betriebsparameter während des Betriebs), was den Überblick über die aktuellen Bedingungen des Chillers erleichtert
  • Betriebszustand überwachen und Protokollierung von Daten wie Temperatur, Druck und Durchflussmenge
  • Durchführung von Tests in der jeweiligen Applikation
  • Einstellen und Überprüfen aller Parameter sowie Speichern der Einstellung im Einstellmenü
  • generelle Überprüfung des Chillers
  • Planung vorbeugender Wartungsintervalle
  • Fehleranalyse
  • Anzeige von Alarmbeschreibungen und Historie mit Prozessdaten

Features der HRR-Software

Die übersichtliche Benutzeroberfläche setzt sich aus Kontrollleiste, Navigationsleiste, Prozesswerten, Produktinformation, Anzeigebereich und Statusleiste zusammen.

Das Diagramm, das die grafischen Prozessdaten liefert, passt sich automatisch dem benutzten Chiller an (luft- oder wassergekühlt, mit oder ohne DI Control Funktion).

Sie können die Einstellungen anzeigen, ändern und übertragen lassen sowie auf Werkseinstellung zurücksetzen. Die Konfiguration kann gespeichert und kopiert werden.

Die Intervalle der Wartungsübersicht sind entweder direkt am Chiller oder über die HRR-Software anpassbar.

Die Software ist in zehn Sprachen verfügbar: Deutsch, Englisch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Russisch, Türkisch, Japanisch, Chinesisch und Koreanisch.

Sie wollen mehr über unsere HRR-Software und deren Funktionsweisen erfahren?
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Trinkwasserventile der Serie HF3-JSX

Ventile für Trinkwasser müssen spezielle Anforderungen erfüllen – allen voran hohe hygienische Standards. Neben Ventilen für unterschiedlichste Anwendungen und Industriezweige gibt es bei SMC nun auch Trinkwasserventile (Serie HF3-JSX) sowie die dafür nötigen Verschraubungen (KFG2H-E) in hygienischer Konstruktion.

Einsatzbereiche der Trinkwasserventile

Bei Ventilen der Serie HF3-JSX handelt es sich um 2-Wege-Magnetventile, die für Anwendungen mit direktem Kontakt zu Trinkwasser geschaffen wurden. Sie werden deshalb bevorzugt von Industriezweigen genutzt, in denen hohe hygienische Standards gefordert sind:

  • Getränkeindustrie: sowohl in der Herstellung als auch im Anwendungsbereich, z. B. bei Zapfhähnen (Brauereien, Fruchtsafthersteller, Winzer usw.)
  • Lebensmittelindustrie (Großbäckereien, Feinkost, Fleischwaren, Milch- und Käseindustrie etc.)
  • Pharmaindustrie (Arzneimittelhersteller, Impfstoffproduzenten, Apotheken …)

Eigenschaften der HF3-JSX Trinkwasserventile

Das Gehäuse- und Spulenmaterial der Trinkwasserventile besteht aus hygienischem Edelstahl. Sowohl das Material als auch das kompakte Design sorgen dafür, dass die Ventile leicht zu reinigen sind.

Darüber hinaus bringen die Ventile weitere Vorteile mit sich:

  • energiesparend (10 Prozent mehr Spulenkraft, 14 Prozent weniger Stromverbrauch)
  • platzsparend durch die kompakte und leichte Beschaffenheit
  • geräuscharm – die spezielle Konstruktion reduziert Metallgeräusche während des Betriebs
  • lange Haltbarkeit
  • extrem beständig gegen Korrosion und widrigste Umgebungsbedingungen
  • die elektromagnetische Spule ist 360° drehbar und kann dadurch flexibel auf unterschiedliche Einbauverhältnisse angepasst werden

Trinkwasserventile der Serie HF3-JSX sind außerdem nach IP67 zertifiziert, d. h. sie sind staubdicht und wasserdicht (gegen zeitweiliges Untertauchen), sowie nach NSF/ANSI 61 (amerikanischer Standard für Komponenten in Trinkwassersystemen), UL und CE.

EHEDG- und FDA-konforme Fittinge der Serie KFG2H-E

Zusätzlich erhalten Sie bei uns passende Fittinge in hygienischer Konstruktion – konform gemäß EHEDG (European Hygienic Engineering and Design Group) und FDA (Food and Drug Administration) und für Medientemperaturen von -5 bis +150°C geeignet.

Zu den HF3-JSX-Trinkwasserventilen passende Klemmverbindungen der Serie KFG2H-E sind leicht zu reinigen und so konstruiert, dass Restflüssigkeiten nach der Reinigung besser abperlen anstatt sich abzulagern. Zudem wird das Eindringen von Flüssigkeiten verhindert.

Die Fittinge bestehen aus rostfreiem Stahl 316 und verfügen über einen hohen Korrosionsschutz. Beim für die Gummiteile verwendeten Material handelt es sich um ein spezielles FKM, die zur besseren Sichtbarkeit blau eingefärbt sind.

Hier finden Sie alle Spezifikationen der SMC-Trinkwasserventile(derzeit nur in englischer Sprache) sowie zu den passenden Klemmverbindungen der Serie KFG2H-E.

Wenn Sie mehr dazu erfahren möchten oder konkrete Fragen haben, nehmen Sie Kontakt mit uns auf – unser Team hilft Ihnen gerne weiter.